イオン注入用のタングステンおよびモリブデン部品

当社はイオン注入用のタングステンおよびモリブデン部品の製造を専門としています。これらの部品には、電子放出陰極のシールドシリンダー、放出プレート、中央固定ロッド、消弧室のフィラメントプレートなどが含まれます。当社の製品の粒度は微細化されており、相対密度は99％以上であり、高温における機械的特性は通常のタングステンやモリブデン材料よりも高く、耐用年数も大幅に延長されます。

応用：半導体産業向けイオン注入装置

材料：ピュアW、ピュアモ

寸法:図面通りに製作します

MOQ:5ピース

納期：10～15日

支払方法：T/T、PayPal、Alipay、WeChat Payなど

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製品の詳細

製品タグ

イオン注入用のタングステンおよびモリブデン部品

高精度にイオン注入されたタングステンおよびモリブデンのスペアパーツを提供します。当社の製品は、微細な粒子サイズ、99% を超える相対密度、通常のタングステンモリブデン材料よりも高い高温機械的特性、および大幅に長い耐用年数を備えています。

これらのイオン注入コンポーネントには次のものが含まれます。

•電子放出カソードシールドシリンダー。

•発射台。

•センターポール。

•インタラプタフィラメントプレートなど

イオン注入部品情報

製品名	イオン注入部品
材料	純タングステン(W) / 純モリブデン(Mo)
純度	99.95%
密度	W: 19.3g/cm3 / Mo: 10.2g/cm3
融点	W:3410℃ / Mo:2620℃
沸点	W:5660℃ / Mo:5560℃
注：図面に従って加工

イオン注入

イオン注入は、半導体製造における重要なプロセスです。注入システムは、外来原子をウェーハに導入して、導電率や結晶構造などの材料特性を変化させます。イオンビームの経路は注入システムの中心です。そこでイオンが生成され、集中し、非常に高速でウェーハに向かって加速されます。

イオン源がプラズマイオンに変換されると、2000°C を超える動作温度が生じます。イオンビームが放出されると、大量のイオン運動エネルギーも生成されます。金属は通常、急速に燃えて溶けます。したがって、イオンビーム射出の方向を維持し、コンポーネントの耐久性を高めるには、より高い質量密度を備えた貴金属が必要です。タングステンとモリブデンは理想的な材料です。