タングステン(W)ペレット蒸着材料

タングステン スパッタ ターゲットまたはタングステン蒸着粒子としても知られるタングステン ペレットは、主に薄膜堆積の物理蒸着 (PVD) プロセスで使用される特殊な形式のタングステン材料です。

タングステン ペレットは、通常 99.95% 以上の純度の高純度タングステン金属で構成されています。この高純度により、堆積膜中の不純物や汚染物質が最小限に抑えられ、膜の品質と性能の向上に役立ちます。

当社は 3*3mm および 6*6mm のサイズのタングステン ペレットを提供しており、ターゲット サイズ、純度レベル、表面特性などの特定のアプリケーション要件を満たすようにカスタマイズすることもできます。