熱蒸着用タングステンボート

タングステンボートはタングステン金属で作られた容器です。通常はボートのような形状をしており、さまざまな高温用途で材料を収容または輸送できるように設計されています。タングステンボートは、蒸着材料の正確な制御が必要な熱蒸着や電子ビーム蒸着などの真空蒸着プロセスで広く使用されています。

タングステンボートは、非常に高い融点 (3422°C)、優れた熱伝導率、熱衝撃や化学腐食に対する耐性があるため、真空蒸着用の最初の選択肢です。これらの特性により、タングステン ボートは、変形したり堆積した材料と反応したりすることなく、高温で材料を扱ったり蒸発させたりするのに最適です。

真空蒸着プロセスでは、蒸着する材料をタングステンボート内に置き、抵抗加熱または電子ビーム照射を使用して目的の温度まで加熱します。材料が蒸発温度に達すると、蒸発してベース材料上に薄膜が形成され、蒸着プロセスと得られる膜の特性を正確に制御できるようになります。

タングステン ボートは、さまざまな蒸着システムや材料要件に対応するために、さまざまなサイズと構成で利用できます。様々な長さ、幅、厚さ、材質の蒸着ボートをご用意しておりますので、詳しくはお問い合わせください。