熱蒸発るつぼ

WINNERS METALS は、蒸着のニーズに合わせてさまざまなサイズと材質のるつぼを提供しています。熱蒸発るつぼは、シールド付きるつぼヒーターまたはバスケット ヒーターとともに使用されます。

蒸発ボートは底部から加熱され容積が小さくなりますが、熱蒸発るつぼはより多くの材料を保持し、材料を四方から加熱するため、膜が厚くなり、ポンプダウンサイクルが少なくなります。

大容量の熱蒸発源は、高融点金属、酸化物、窒化物、グラファイトなどの高温材料で作られた円筒形の容器です。これらのるつぼは抵抗ヒーターで囲まれており、抵抗ヒーターはコイル状のワイヤーまたは円筒形のバスケットの形の金属板です。

バスケット ヒーターと円筒状るつぼアセンブリを合わせて、るつぼヒーターと呼ばれます。その設計により、蒸着材料に熱を均一に集中させることができます。これらのヒーターには熱エネルギーの損失を減らすために熱シールドが装備されています。