電子ビーム蒸着システム用ユニバーサルるつぼライナー

電子ビームるつぼライナー

電子ビーム蒸着源には、電子放出用の熱要素フィラメント、電子流の形成と位置調整用の電磁石、および蒸着する原料を収容するために適切に設計された水冷銅炉が装備されています。多くの材料は、真空蒸着中に通常発生する温度でこれらの銅炉と破壊的に反応します。銅ハースとの熱相互作用を防ぎ、ソース材料内の熱の均一な分布を確保するために、電子ビーム蒸着中にハースライナーを使用することが有益なことがよくあります。

これらのパッドは、市販のすべての電子ビーム源に対応できるよう、さまざまな形状やサイズで作成できます。ライナーの組成は、熱を発生する化学相互作用を最小限に抑え、蒸着プロセスの熱安定性を最大限にするために、蒸着される材料に注意深く適合します。

電子ビーム蒸着用るつぼライナーを提供できます。さまざまなメーカーの電子銃に合わせて、さまざまな材質とサイズを用意しています。詳細およびお見積りにつきましては、お気軽にお問い合わせください。
また、さまざまな材質の熱るつぼや HTE/LTE るつぼも製造しています。