電子ビーム蒸着膜

電子ビーム蒸着法は、真空蒸着法の一種で、電子ビームを用いて真空条件下で蒸着材料を直接加熱し、蒸着材料を蒸発させて基板に輸送し、基板上で凝縮して薄膜を形成する方法です。電子ビーム加熱装置では、加熱対象物を水冷るつぼに入れるため、蒸着材料とるつぼ壁との反応や膜質への影響を避けることができます。複数のるつぼを装置内に配置して、さまざまな物質の蒸発と堆積を同時にまたは個別に行うことができます。電子ビーム蒸着を使用すると、あらゆる材料を蒸着できます。

電子ビーム蒸着では、高融点材料を蒸着できます。一般的な抵抗加熱蒸着に比べ、熱効率が高く、ビーム電流密度が高く、蒸着速度が速い。導電性ガラスをはじめとする各種光学材料のフィルムやフィルム。
電子ビーム蒸着の特徴は、ターゲットの三次元構造の両面を覆わないか、またはめったに覆わず、通常はターゲット表面のみに蒸着することです。これが電子ビーム蒸着とスパッタリングの違いです。

電子ビーム蒸着は、半導体研究および産業の分野で一般的に使用されています。加速された電子エネルギーは材料ターゲットに衝突するために使用され、材料ターゲットが蒸発して上昇します。最終的にターゲットに配置されました。