電子ビームタングステンフィラメント

タングステンフィラメントは、高い融点、高い抵抗率、優れた強度、低い蒸気圧を特徴としており、電子ビーム蒸着システムに使用できます。電子ビームタングステンフィラメントは、蒸発プロセス中に発生する高温に耐えることができ、蒸発プロセスの信頼性と効率性を確保します。

電子ビームタングステンフィラメントは、電子衝撃のエネルギーを利用してターゲット材料を蒸発させる真空蒸着システムに不可欠な部品です。この蒸発プロセスによって原子または分子の流れが生成され、優れた均一性、密度、純度を備えた薄膜が堆積されます。